摘要：原子层沉积（ALD）技术是一种先进的薄膜沉积技术，广泛应用于半导体制造等领域。本文介绍了不同类型的原子层沉积设备及其特点，探讨了设备的优化问题。通过优化设备参数和工艺条件，可以提高薄膜的均匀性、致密性和附着力等性能，从...