摘要:本文介绍了半导体制造中的原子层沉积(ALD)工艺,阐述了其基本原理和过程。文章重点讨论了ALD工艺的优化方法,包括反应条件、源材料选择、沉积温度等方面的优化措施。通过优化,可以提高薄膜质量、降低制造成本,并提升半导体器...
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