摘要：本文探讨了微导原子层沉积（ALD）设备技术的优化及其应用。文章首先概述了ALD设备的基本原理和特点，然后重点介绍了技术优化的方向，包括设备结构、工艺参数、材料性能等方面的改进。文章探讨了优化后的ALD设备在各个领域的应...